某8英寸晶圆厂UPW系统采用3M™ LifeASSURE™ EPF终端系列滤芯，用于0.04/0.20μm超纯水与水性化学品的终端精滤

 

3M™ LifeASSURE™ EPF终端系列滤芯技术案例1：微电子超纯水工艺应用

某8英寸晶圆厂UPW系统采用3M™ LifeASSURE™ EPF终端系列滤芯，用于0.04/0.20μm超纯水与水性化学品的终端精滤，核心解决先进制程中高颗粒保留、低压降与快速冲洗的技术需求，适配高温（80℃）与多种化学品的严苛工况。安装过程中，严格按照规范断水泄压，采用222接口垂直安装，确保PES膜亲水层与聚丙烯硬件无错位，避免安装偏差导致的过滤失效；运行期间，通过压差监测（ΔP≤0.15MPa）与完整性测试实时验证滤芯密封性，杜绝颗粒泄漏。3M™ LifeASSURE™ EPF终端系列滤芯凭借优化的膜结构设计，更换周期长达12个月，单支滤芯处理量超8000m³，颗粒计数稳定≤1个/10mL，完全满足SEMI F85标准。该方案成功替代传统双级过滤模式，减少30%耗材消耗与停机维护时间，为晶圆刻蚀、清洗等先进制程提供稳定、可靠的超纯水源，有效提升芯片良率。